국가과학기술연구회(NST)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소 주관 `반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발·실증` 과제(플라즈마 융합연구단)를 선정했다고 13일 밝혔다.

이번 융합 연구에는 국가핵융합연구소를 비롯한 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원과 서울대와 충남대 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여 명이 참여할 예정이다. 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발과 실증을 목표로 한다. 최대 6년간(3+3년)440억 원이 투입되며, 다음 달 1일부터 본격 연구에 착수한다.장진웅 기자

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장진웅
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